비접촉 변위 센서를 탑재하여 스캐닝 기능을 통해미소 단차나 3D 형상을 측정할 수 있는 복합 측정기입니다. 파장 컨포컬 방식의 비접촉 변위 센서(크로매틱 포인트 센서)를 탑재하였습니다. 변위 센서의 광원에 LED를 사용하여 광원의 자동 조광 기능을 통해반사율이 다른 소재도 연속으로 측정할 수 있습니다.
X최대(mm)
~600
Y최대(mm)
~650
Z최대(mm)
~250
최고정도(μm)
0.8+2L/1000~