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MiSCAN Vision System

미세 형상 스캐닝 프로브 화상 측정기

미세 형상 스캐닝 프로브 화상 측정기

화상 광학 헤드와 스캐닝 프로브(MPP-NANO, SP25M)가 탑재된 하이브리드 화상 측정기입니다.

MPP-NANO 프로브로 미세 영역에서 3D 스캐닝 측정이 가능하며
스캐닝 측정에서 뛰어난 실적을 자랑하는 SP25M 프로브에도 대응합니다.

관찰 카메라가 탑재되어 있어 측정물의 오염이나 흠집 유무를 확인하면서 손쉽게 접근할 수 있습니다.

X최대(mm)

~400

Y최대(mm)

~400

Z최대(mm)

~250

최고정도(μm)

0.8+2L/
1000~

설치사례