각 축의 최대 구동 속도는 200mm/s로 빠른 위치 결정이 가능하여다수의 측정물 측정의 작업 처리량을 크게 늘릴 수 있습니다. X축, Y축 방향에서 2축 동시 제어를 통해 경사면 측정이 가능합니다. PLC(프로그램 제어 로직 컨트롤러)와 양방향 통신(RS-232C)을 통한외부 제어 기능(외부 인터페이스)이 옵션으로 제공됩니다.
구동최대(mm)
200
검출범위(μm)
800, 80, 8
컬럼최대(mm)
~500
옵션상이
500