측정 정도 E1XY(0.25+L/1000)μm를 실현한 초고정도 모델입니다. X, Y, Z 각 축에 미쓰도요가 개발한 고분해능(0.01μm), 고정도 저팽창 글래스 스케일을 사용하였습니다. 고강성 고정 브릿지 Y축 테이블 이동 구조를 사용하였으며,베이스에는 시간이 지나도 변화가 적은 그라나이트를 사용하였습니다.
X최대(mm)
~400
Y최대(mm)
Z최대(mm)
~200
최고정도(μm)
0.25+L/1000~