α축이 있는 모델에서는 구동부를 파워 틸팅하여 수평 및 경사면에 대한 연속 측정이 가능합니다.또한, 구동부 경사 시에도 일정한 측정력으로 자동 측정이 가능합니다. Y축 테이블이 있는 모델은 Y축 방향에서 위치 결정을 하여복수 측정물에 대한 측정 범위를 확대할 수 있습니다. Z1 검출기에는 충돌 안전 장치가 내장되어 있어검출기 본체가 측정물 또는 지그에 간섭하더라도 자동으로 정지합니다.
구동최대(mm)
200
검출범위(μm)
옵션상이
컬럼최대(mm)
~500
기존의 접촉식 측정은 물론, 공초점 비접촉 포인트 센서(CPS)로비접촉 측정도 가능한 하이브리드 표면 성상 측정기입니다. Y축 테이블이 탑재되어 있어 Y축 방향에서 위치 결정을 하여복수 측정물에 대한 측정 범위를 확대할 수 있습니다. Z1 검출기에는 충돌 안전 장치가 내장되어 있어검출기 본체가 측정물 또는 지그에 간섭하더라도 자동으로 정지합니다.
500